FREQUENCY-RESPONSE OF SURFACE STATE ADMITTANCE IN WEAKLY INVERTED THIN SIO2-SI MOS CAPACITORS

被引:17
作者
KATTO, H
SAH, CT
机构
来源
PHYSICA STATUS SOLIDI A-APPLICATIONS AND MATERIALS SCIENCE | 1972年 / 13卷 / 02期
关键词
D O I
10.1002/pssa.2210130210
中图分类号
T [工业技术];
学科分类号
08 ;
摘要
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