HETERO-EPITAXIAL GROWTH OF INP ON SI SUBSTRATES BY LP-MOVPE

被引:19
作者
HORIKAWA, H
KAWAI, Y
AKIYAMA, M
SAKUTA, M
机构
[1] Oki Electric Industry Co, Japan
关键词
D O I
10.1016/0022-0248(88)90577-5
中图分类号
O7 [晶体学];
学科分类号
0702 ; 070205 ; 0703 ; 080501 ;
摘要
5
引用
收藏
页码:523 / 526
页数:4
相关论文
共 5 条