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HETERO-EPITAXIAL GROWTH OF INP ON SI SUBSTRATES BY LP-MOVPE
被引:19
作者
:
HORIKAWA, H
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机构:
Oki Electric Industry Co, Japan
HORIKAWA, H
KAWAI, Y
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Oki Electric Industry Co, Japan
KAWAI, Y
AKIYAMA, M
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Oki Electric Industry Co, Japan
AKIYAMA, M
SAKUTA, M
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Oki Electric Industry Co, Japan
SAKUTA, M
机构
:
[1]
Oki Electric Industry Co, Japan
来源
:
JOURNAL OF CRYSTAL GROWTH
|
1988年
/ 93卷
/ 1-4期
关键词
:
D O I
:
10.1016/0022-0248(88)90577-5
中图分类号
:
O7 [晶体学];
学科分类号
:
0702 ;
070205 ;
0703 ;
080501 ;
摘要
:
5
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GROWTH OF HIGH-QUALITY GAAS-LAYERS ON SI SUBSTRATES BY MOCVD
AKIYAMA, M
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[J].
JOURNAL OF CRYSTAL GROWTH,
1986,
77
(1-3)
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[J].
APPLIED PHYSICS LETTERS,
1987,
50
(24)
: 1725
-
1726
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DUCHEMIN, JP
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DUCHEMIN, JP
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JOURNAL OF CRYSTAL GROWTH,
1984,
68
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MOCVD GROWTH OF INP ON 4-INCH SI SUBSTRATE WITH GAAS INTERMEDIATE LAYER
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KOBA, M
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JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 2-LETTERS & EXPRESS LETTERS,
1987,
26
(10):
: L1587
-
L1589
[5]
YAMAMOTO A, 1986, OPTOELECTRONICS DEVI, V1, P41
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GROWTH OF HIGH-QUALITY GAAS-LAYERS ON SI SUBSTRATES BY MOCVD
AKIYAMA, M
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[J].
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[J].
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1987,
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[3]
1.2-1.6-MU-M GAXIN1-XASYP1-Y-INP DH LASERS GROWN BY LPMOCVD
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JOURNAL OF CRYSTAL GROWTH,
1984,
68
(01)
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-
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[4]
MOCVD GROWTH OF INP ON 4-INCH SI SUBSTRATE WITH GAAS INTERMEDIATE LAYER
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[J].
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1987,
26
(10):
: L1587
-
L1589
[5]
YAMAMOTO A, 1986, OPTOELECTRONICS DEVI, V1, P41
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