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HALF-MICROMETER-BASE LATERAL BIPOLAR-TRANSISTORS MADE IN THIN SILICON-ON-INSULATOR FILMS
被引:9
作者
:
COLINGE, JP
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0
COLINGE, JP
机构
:
来源
:
ELECTRONICS LETTERS
|
1986年
/ 22卷
/ 17期
关键词
:
D O I
:
10.1049/el:19860604
中图分类号
:
TM [电工技术];
TN [电子技术、通信技术];
学科分类号
:
0808 ;
0809 ;
摘要
:
引用
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页码:886 / 887
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FABRICATION OF THIN SILICON-ON-INSULATOR FILMS USING LASER RECRYSTALLIZATION
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