ARC LAMP ZONE-MELTING AND RECRYSTALLIZATION OF SI FILMS ON OXIDIZED SILICON SUBSTRATES

被引:37
作者
STULTZ, TJ [1 ]
GIBBONS, JF [1 ]
机构
[1] LOCKHEED PALO ALTO RES LABS,PALO ALTO,CA 94304
关键词
D O I
10.1063/1.93708
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
摘要
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页码:824 / 826
页数:3
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