SPECIMEN COHERENT SCATTERING AND COMPENSATOR DEFECTS IN ELLIPSOMETRY

被引:32
作者
AZZAM, RMA
BASHARA, NM
机构
关键词
D O I
10.1364/JOSA.61.001236
中图分类号
O4 [物理学];
学科分类号
0702 ;
摘要
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页码:1236 / &
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