共 5 条
基于衍射光栅的二维纳米位移测量技术
被引：12
作者：
夏豪杰
费业泰
范光照
程方
机构：
[1] 合肥工业大学仪器科学与光电工程学院
来源：
关键词：
二维光栅;
位移测量;
干涉;
D O I：
10.13494/j.npe.2007.067
中图分类号：
TP274 [数据处理、数据处理系统];
学科分类号：
0804 ;
080401 ;
080402 ;
081002 ;
0835 ;
摘要：
提出了一种基于正交衍射光栅作为测量基准元件的二维激光干涉测量系统.利用正交光栅的空间对称级的衍射光进行干涉,基于多普勒效应,采用偏振检测的方法获得相位相差90°的干涉信号.通过光电检测把获得的正弦和余弦信号进行相位细分,系统可在平面二维方向上实现纳米级的分辨率.该系统相比其他干涉测量系统,测量结构紧凑,环境因素对其影响较小,可应用于较大行程的平面微位移精密检测.
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页码：311 / 314
页数：4
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