微机电系统的构成及其关键技术

被引：11

作者：

杨红军

李刚炎

机构：

[1] 武汉理工大学机电工程学院

[2] 武汉理工大学机电工程学院湖北武汉

[3] 湖北武汉

来源：

机械 | 2005年 / 01期

关键词：

微机电系统; 构成; 关键技术;

D O I：

暂无

中图分类号：

TH703 [结构];

学科分类号：

080401 [精密仪器及机械];

摘要：

微机电系统技术是当前机械工程研究的前沿技术之一,是 21 世纪最有前途的产业之一。概述了微机电系统的定义与构成,讨论了微机电系统的一些关键技术,并对微机电系统的发展前景作了展望。

引用

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页数：4

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