ZAO薄膜的研究现状及发展趋势

被引：25

作者：

陆峰

徐成海

闻立时

机构：

[1] 东北大学机械工程与自动化学院!辽宁沈阳

[2] 中国科学院金属研究所!辽宁沈阳

来源：

真空与低温 | 2001年 / 03期

关键词：

ZAO薄膜; 溅射;

D O I：

暂无

中图分类号：

O484.4 [薄膜的性质];

学科分类号：

080501 ; 1406 ;

摘要：

针对目前ITO膜In、Sn等材料自然储量少、制备工艺复杂、有毒、稳定性差的缺点 ,提出了代替ITO膜的ZAO薄膜。从该膜的基本性能入手介绍了它的优点 ,国内外研究及发展现状

引用

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共 4 条

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