微透镜阵列的加工技术研究

被引：6

作者：

陈祥献

杨国光

陈洪谬

侯西云

许乔

机构：

[1] 浙江大学高技术现代光学中心

来源：

浙江大学学报(自然科学版) | 1998年 / 03期

关键词：

微透镜阵列；微光学；光刻胶；电铸；浇铸；复制;

D O I：

暂无

中图分类号：

TN203 [结构];

学科分类号：

0803 ; 080401 ; 080901 ;

摘要：

我们运用紫外光刻及热熔成形的方法，制作了２０ｍｍ×２０ｍｍ的折射型微透镜阵列，单元微透镜相对口径为Ｆ／２，单元透镜直径９０μｍ，中心间隔１００μｍ．在此基础上进行了电铸和注模复制技术的研究．本文详细讨论了光刻热熔、电铸制模、注模复制的工艺参数控制

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