对超精密加工及纳米加工环境的分析

被引:6
作者
赫玉娟
曹克伟
张大卫
田延岭
机构
[1] 天津大学机械工程学院
[2] 天津大学机械工程学院 天津
[3] 天津
关键词
超精密加工; 纳米加工; 恒温; 湿度; 空气净化;
D O I
暂无
中图分类号
TG66 [特种加工机床及其加工];
学科分类号
080201 ;
摘要
介绍了超精密加工技术概要 ,对超精密加工以及纳米加工的支撑环境进行了归纳 ,并分别阐述了支撑环境中温度、湿度、洁净度及振动几个环境因素 ,最后给出了保证其支撑环境的一般性措施
引用
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共 6 条
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