非致冷热释电红外探测器敏感元的研究

被引：1

作者：

李建康 ^{[1
]}

姚熹 ^{[2
]}

机构：

[1] 苏州科技学院电子与信息工程系

[2] 西安交通大学电子材料研究所

来源：

关键词：

非致红外探测器; 敏感元; 光刻; 剥离;

D O I：

暂无

中图分类号：

TN215 [红外探测、红外探测器];

学科分类号：

摘要：

非致冷热释电红外探测器由于具有光谱响应宽、无需致冷等显著优点,近年来成为红外成像领域的研究热点,其结构中最关键的部分是敏感元。研究敏感元材料的制备、结构和性能,采用半导体光刻工艺和化学腐蚀的方法成功地对PZT铁电薄膜进行刻蚀,同时采用剥离技术对相应的电极实现了图形化。

引用

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