压电型精密位移驱动器的研究进展

被引：18

作者：

华顺明

程光明

阚君武

杨志刚

机构：

[1] 吉林大学压电驱动与控制技术研究室

[2] 吉林大学压电驱动与控制技术研究室长春

[3] 长春

来源：

压电与声光 | 2004年 / 03期

关键词：

压电陶瓷驱动器; 精密驱动; 自由度; 驱动原理;

D O I：

暂无

中图分类号：

TN384 [铁电及压电器件];

学科分类号：

0805 ; 080501 ; 080502 ; 080903 ;

摘要：

把压电型精密驱动器按技术特点分为直动式、步进式/蠕动式和惯性式三类,列举了各类中的国内外典型机构,分析各类驱动机构的工作原理、优势、缺点、适用场合及研究的活跃点,对进一步研究多自由度精密位移驱动器具有指导意义。

引用

页码：192 / 195

页数：4

共 6 条

[1] 基于微操作的大行程高分辨率旋转微驱动器的研究 [J].

孙立宁 ;

荣伟彬 ;

曲东升 ;

高振国 ;

楼朝飞 ;

蔡鹤皋 .

光学精密工程, 2001, (06) :514-518

[2] 具有纳米级分辨率的超精密定位工作台 [J].

林德教 ;

吴健 ;

殷纯永 .

光学技术, 2001, (06) :556-557+559

[3] 蠕动式X-Y-θ微动工作台的设计实现 [J].

吴鹰飞 ;

李勇 ;

周兆英 ;

刘钦彦 .

中国机械工程, 2001, (03) :31-33+4

[4] 新型压电式直线驱动器的研究 [J].

程良伦 ;

杨宜民 .

高技术通讯, 1997, (10) :16-19

[5] 纳米X－Y工作台固有频率特性的研究 [J].

吴一辉，杨洪波 ;

不详 .

光学精密工程 , 1995, (06) :50-54

[6] 压电／电致伸缩微位移器件与应用（上） [J].

蔡鹤皋，孙立宁，安辉 .

高技术通讯, 1994, (05) :38-40

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