Si基纳米发光材料的研究进展

被引:15
作者
彭英才
X.W.Zhao
傅广生
不详
机构
[1] 河北大学电子信息工程学院
[2] Department of Physics
[3] Faculty of Science
[4] Tokyo University of Science
[5] -
[6] Kagurazaka
[7] Shinjuku-ku
[8] 河北大学物理科学与技术学院 保定  中国科学院半导体研究所半导体超晶格国家重点实验室
[9] 北京
[10] Tokyo
[11] Japan
[12]
关键词
Si基纳米材料; 制备方法; 结构特征; 发光机制; Si基光电器件;
D O I
暂无
中图分类号
TB383 [特种结构材料];
学科分类号
070205 ; 080501 ; 1406 ;
摘要
Si基纳米材料是近年迅速发展起来的一类新型光电信息材料,在未来的Si发光二极管、Si激光器以及Si基光电子集成技术中具有潜在的重要应用.这些材料主要包括纳米多孔硅,由SiO2膜、SiOx(x<2.0)膜与氢化非晶Si(a-Si:H)膜镶嵌或覆盖的Si纳米微粒,Si纳米量子点以及Si/SiO2超晶格等.目前的研究迹象预示,一旦这些材料能够实现高效率和高稳定度的光致发光(PL)或电致发光(EL),很有可能在21世纪初引发一场新的信息革命.主要介绍了过去10年中各类Si基纳米材料在制备方法、结构特征和发光特性方面的研究进展,并初步预测了这一研究领域在今后10年内的发展趋势.
引用
收藏
页码:721 / 730
页数:10
相关论文
共 9 条
[1]   SiO膜的薄层化对自组织生长Si纳米量子点发光特性的影响 [J].
彭英才 ;
竹内耕平 ;
稻毛信弥 ;
宫崎诚一 .
半导体学报, 2002, (03) :267-271
[2]   Ge-SiO薄膜的光致发光及其机制 [J].
董业民 ;
陈静 ;
汤乃云 ;
叶春暖 ;
吴雪梅 ;
诸葛兰剑 ;
姚伟国 ;
不详 .
科学通报 , 2001, (06) :525-528
[3]   PECVD生长nc-Si∶H膜的沉积机理分析 [J].
彭英才 ;
何宇亮 ;
刘明 .
真空科学与技术, 1998, (04) :283-288
[4]   Si注入热生长SiO的光致发光激发谱与光电子能谱 [J].
宋海智 ;
鲍希茂 .
半导体学报, 1997, (11) :820-824
[5]   镶嵌在氧化硅薄膜中纳米晶硅的可见光荧光谱与发光机制的研究 [J].
朱美芳 ;
陈国 ;
许怀哲 ;
韩一琴 ;
谢侃 ;
刘振祥 ;
唐勇 ;
陈培毅 .
物理学报, 1997, (08) :190-196
[6]   埋入SiO2薄膜中纳米Si的Raman散射和室温可见光致发光 [J].
王印月 ;
杨映虎 ;
郭永平 ;
王吉政 ;
陈光华 ;
甘润今 .
科学通报, 1997, (15) :1618-1622
[7]   n+-Si与p-Si衬底上含纳米硅的SiO2膜电致发光 [J].
张亚雄 ;
李安平 ;
陈开茅 ;
张伯蕊 ;
孙允希 ;
秦国刚 ;
马振昌 ;
宗婉华 .
物理学报, 1997, (05) :180-183
[8]  
凝聚态物理学新论[M]. 上海科学技术出版社 , 冯端, 1992
[9]  
Sized-dependent near-infrared photoluminescence spectra of Si nanocrystal embedded in SiO2 materials .2 Kanazawa Y,Kageyama T,Takeoka S,et al. Solid State Communications . 1996