共 4 条
基于二维精密电容微位移传感器的二维纳米定位系统
被引：20
作者：
王碧波
岳金福
周泽兵
彭益武
机构：
[1] 华中科技大学物理系基本物理量测量教育部重点实验室,华中科技大学物理系基本物理量测量教育部重点实验室,华中科技大学物理系基本物理量测量教育部重点实验室,华中科技大学物理系基本物理量测量教育部重点实验室武汉,武汉,武汉,武汉
来源：
关键词：
纳米定位;
压电陶瓷执行机;
电容传感器;
D O I：
10.13494/j.npe.2005.025
中图分类号：
TP212 [发送器（变换器）、传感器];
学科分类号：
080202 ;
摘要：
设计并研制了一种结构小巧的纳米级精密定位平台.该系统采用正交簧片式设计,有效地抑制了正交运动的耦合,同时应用一个二维电容微位移传感器作为位移标准来对定位平台实行反馈控制,有效地克服了压电陶瓷执行机的非线性和迟滞效应.实验结果表明,该系统定位精度优于1nm,可在0.5μm×0.5μm范围内实行任意二维纳米循迹定位.给出了半径为2.5nm的圆及外接圆半径约为5nm的五角星形的定位轨迹图.该系统基本满足高精度引力实验精确定位的需求.
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页码：137 / 141
页数：5
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