激光干涉微轮廓测量仪

被引：12

作者：

宋康

赵玉龙

蒋庄德

机构：

[1] 西安交通大学机械工程学院

来源：

光学精密工程 | 2003年 / 03期

关键词：

微轮廓测量仪; 压电陶瓷; 激光干涉;

D O I：

暂无

中图分类号：

TH744.3 [];

学科分类号：

摘要：

基于Michelson干涉仪测量原理研制的微轮廓测量仪 ,载物平台采用步进电机和压电陶瓷 (PZT)两级闭环驱动与定位 ,步进电机用于快速粗定位和扩大测量范围 ,压电陶瓷用于精密定位 ,重复定位精度为 10nm ;测量光路采用共干涉系统 ,对机械振动 ,温度漂移不敏感 ;测量范围 2 0mm× 2 0mm× 0 .4mm ,纵向分辨率为 0 .32 μm ,横向分辨率为 0 .5 μm。

引用

页码：245 / 249

页数：5

共 6 条

[1]

MATLAB应用程序接口用户指南.[M].刘志俭等编著;.科学出版社.2000,

[2] 微型激光干涉仪应用于纳米测量机 [J].