纳米级微动工作台的研究现状及发展趋势附视频

被引：36

作者：

雷勇

陈本永

杨元兆

张丽琼

王俊茹

冯平

机构：

[1] 浙江理工大学纳米测量技术实验室

来源：

浙江理工大学学报 | 2006年 / 01期

基金：

浙江省自然科学基金;

关键词：

纳米科技; 磁悬浮; 微动工作台; 高精度; 大范围;

D O I：

暂无

中图分类号：

TH703 [结构];

学科分类号：

080401 [精密仪器及机械];

摘要：

纳米级微动工作台是纳米科学技术研究的关键仪器设备,本文对纳米级微动工作台的研究现状进行了综述,对现有的纳米级微动工作台的工作原理、性能特点和可实现的运动范围及精度进行了分析比较,在此基础上,对纳米级微动工作台的发展趋势做了展望。

引用

页码：72 / 75+82 +82

页数：5

共 9 条

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