高速电光调制器波导测试系统滤光片的研制

被引：1

作者：

付秀华 ^{[1
]}

唐昊龙 ^{[1
]}

刘国军 ^{[1
]}

刘凤娥 ^{[2
]}

张静 ^{[1
]}

机构：

[1] 长春理工大学光电工程学院

[2] 中国兵器工业标准化研究所

来源：

红外与激光工程 | 2013年 / 42卷 / 12期

关键词：

薄膜; 高截止度滤光膜; 双离子束溅射; 波导测试系统;

D O I：

暂无

中图分类号：

O484.41 [];

学科分类号：

0803 ;

摘要：

为了实现对基于BaTiO3薄膜的高速电光调制器波导精确测试,研制出了一种深背景、高截止度的滤光片,用于提高测试系统信噪比,排除杂光干扰。该滤光片采用双离子束溅射的制备方法,以Nb和SiO2作为沉积材料,借助TFCalc和Macleod软件进行膜系设计和工艺反馈分析,通过正交矩阵法简化了辅助离子源工艺参数的优化过程,保证了采用优化后的工艺制备的薄膜具有更低的吸收,利用实时标定薄膜材料沉积速率等方法,解决了膜层厚度精确控制等问题。制备的滤光片通带中心波长为1550.1nm,通带宽度5.1nm,光密度在-0.1～30dB处的波长间隔为1.9 nm,满足了波导精确测试系统的使用要求。

引用

页码：3380 / 3385

页数：6

共 8 条

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