共 7 条
[6]
现代微电子技术.[M].吴德馨等编著;.化学工业出版社.2002,
[7]
半导体测试技术.[M].孙以材 编著.冶金工业出版社.1984,
四探针技术测量薄层电阻的原理及应用
被引：54
作者：
刘新福
孙以材
刘东升
机构：
[1] 河北工业大学微电子技术研究所
[2] 河北工业大学微电子技术研究所 天津
[3] 天津
来源：
基金：
天津市自然科学基金;
关键词：
四探针技术;
薄层电阻;
测试技术;
D O I：
10.13290/j.cnki.bdtjs.2004.07.013
中图分类号：
TN304.07 [];
学科分类号：
0805 ;
080501 ;
080502 ;
080903 ;
摘要：
对四探针技术测试薄层电阻的原理进行了综述,重点分析了常规直线四探针法、改进范德堡法和斜置式方形Rymaszewski 法的测试原理,并应用斜置式Rymaszewski 法研制成新型的四探针测试仪,利用该仪器对样品进行了微区(300μm×300μm)薄层电阻测量,做出了样品的电阻率等值线图,为提高晶锭的质量提供了重要参考。
引用
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页数：5
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