MEMS加速度计敏感元件测试仪的设计与实现

被引：3

作者：

李童杰

董景新

刘云峰

孔星炜

赵长德

机构：

[1] 清华大学精密仪器与机械学系

来源：

国外电子测量技术 | 2008年 / 04期

关键词：

MEMS加速度计; 敏感元件; 虚拟仪器; 频谱分析仪;

D O I：

10.19652/j.cnki.femt.2008.04.008

中图分类号：

TH824.4 [];

学科分类号：

0804 ; 080401 ; 081102 ;

摘要：

基于敏感元件的特性本文设计出了一种MEMS加速度计敏感元件特性测试仪,即利用电容检测电路和基于虚拟仪器的频谱测试仪对MEMS敏感元件的频谱特性进行测试而得出其重要性能参数。电容检测电路和虚拟仪器频谱测试仪分别在实验室内进行了误差分析,电容检测电路的最大非线性误差为0.127 7%,频率特性测试仪的幅值最大误差为0.352 6 dB,相位最大误差为1.365 6°。

引用

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页数：5

共 8 条

[1] 梳齿式微加速度计闭环系统性能的分析与优化 [J].