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一种用于激光材料加工的非同轴定位装置及方法.[P].蒋毅坚;闫胤洲;鲍勇;季凌飞..2008,
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用于自衬底切割器件的方法和设备[P]. 刘国珍.中国专利:CN1285103C,2004-06-30