1nm/s高速率微晶硅薄膜的制备及其在太阳能电池中的应用

被引：14

作者：

张晓丹

张发荣

赵颖

陈飞

孙建

魏长春

耿新华

熊绍珍

机构：

[1] 南开大学光电子薄膜器件与技术研究所光电子薄膜器件与技术天津市重点实验室

来源：

基金：

天津市自然科学基金;

关键词：

甚高频等离子体增强化学气相沉积; 微晶硅薄膜太阳电池; 高沉积速率;

D O I：

暂无

中图分类号：

TM914.4 [太阳能电池];

学科分类号：

摘要：

采用甚高频等离子体增强化学气相沉积技术,在相对较高气压和较高功率条件下,制备了不同硅烷浓度的微晶硅材料.材料沉积速率随硅烷浓度的增加而增大,通过对材料的电学特性和结构特性的分析得知:获得了沉积速率超过1nm/s高速率器件质量级微晶硅薄膜,并且也初步获得了效率达6.3%的高沉积速率微晶硅太阳电池.

引用

页码：209 / 212

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共 4 条