计量型扫描显微镜中大行程纳米定位系统研制

被引：7

作者：

刘振

李岩

机构：

[1] 清华大学精密仪器与机械学系精密测试技术及仪器国家重点实验室

来源：

光电子激光. | 2010年 / 21卷 / 07期

关键词：

大量程计量型扫描显微镜; 纳米定位; 两级进给; 双伺服环控制; 数字滤波;

D O I：

10.16136/j.joel.2010.07.001

中图分类号：

TH742 [显微镜];

学科分类号：

摘要：

为克服现有计量型扫描探针显微镜(SPM)测量范围小、测量速度低的不足,提出了快速共焦显微镜和SPM结合的大量程、高速、可溯源扫描显微镜,实现了一种大行程纳米定位系统,用于显微镜的扫描定位。系统包括伺服电机驱动的两维机械位移台和压电陶瓷(PZT)驱动的三维柔性铰链微动台,具有双伺服环运动控制机制,由双频激光干涉测量系统进行反馈和溯源。为抑制系统噪声,提高定位精度,设计了数字切比雪夫滤波器,将噪声减小85%。在100 mm×100 mm×20μm行程内,系统具有优于5 nm的定位精度和2 nm的分辨率。

引用

页码：957 / 962

页数：6

共 9 条

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