微小型红外光栅光谱仪光学系统的设计与优化

被引:3
作者
杜晓晴 [1 ,2 ]
童广 [2 ]
胥庆 [2 ]
赵釜 [2 ]
机构
[1] 重庆大学光电技术及系统教育部重点实验室
[2] 重庆大学微系统研究中心
关键词
微小型红外光谱仪; 光学系统设计; 光谱分辨率; 光栅;
D O I
10.16058/j.issn.1005-0930.2009.01.008
中图分类号
TH744.1 [];
学科分类号
0803 ;
摘要
光学系统是微小型光谱仪的核心部分,光学系统的设计质量将直接影响微小型光谱仪的性能.本文利用Zemax光学软件,对具有不对称Czerney-Turner结构的光栅光学系统进行设计与性能分析,并通过优化建立了满足要求的光学结构,该结构能实现波长范围为3—5μm的光谱检测,最小分辨波长间隔可小于50nm,光学系统特征尺寸小于10cm.本研究为微小型红外光谱仪的研制提供了前期理论基础与设计参考.
引用
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