Ti-N系涂层多元多层强化研究进展

被引：9

作者：

汝强

黄拿灿

胡社军

张松

胡显奇

盛刚

机构：

[1] 广东工业大学材料能源学院

[2] 深圳市黄金屋真空科技有限公司

[3] 深圳市黄金屋真空科技有限公司广州市

来源：

工具技术 | 2004年 / 04期

关键词：

多元合金强化; 纳米复合; 多层; TiN涂层;

D O I：

10.16567/j.cnki.1000-7008.2004.04.001

中图分类号：

TG174 [腐蚀的控制与防护];

学科分类号：

080503 ;

摘要：

TiN系涂层具有高的硬度、耐磨性 ,低的摩擦系数和良好的化学稳定性 ,在工模具上获得广泛的应用。多元多层合金化是强化TiN膜的有效途径之一 ,也是目前研究的热点。本文介绍了几种多元多层TiN薄膜的沉积技术及性能特点 ,并指出了国内TiN涂层的发展趋势。

引用

页码：3 / 8

页数：6

共 16 条

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