透明导电氧化物薄膜研究进展

被引:47
作者
望咏林
颜悦
沈玫
贺会权
张官理
机构
[1] 北京航空材料研究院
关键词
氧化物薄膜; 透明导电机理; 制备工艺; ITO; AZO;
D O I
暂无
中图分类号
TB383.2 [];
学科分类号
摘要
综述了透明导电氧化物(TCO)薄膜的应用和发展,重点阐述了TCO薄膜的透明导电机理以及制备工艺的最新研究进展,同时对其研究和应用前景进行了展望。
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页码:317 / 320
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