利用脉冲准分子激光在ZnS上沉积类金刚石薄膜

利用氟化氪（KrF）脉冲准分子激光烧蚀沉积（PLD）技术,通过对激光等离子体的粒子成分以及空间分布的诊断,实现了等离子体成分的选择性沉积。在不降低光谱范围和透过率指标的前提下,解决了类金刚石（DLC）薄膜和硫化锌（ZnS）基底的牢固结合问题;通过改进基底平台的扫描方式,在激光烧蚀沉积工艺中沉积了80mm的大面积均匀类金刚石薄膜。制备的类金刚石/ZnS镀膜样品,光谱范围为0.53～12μm,其中1.3～11μm波段透过率在70%以上,膜层均匀性优于95%,可耐受环境湿度95%100%,工作温度-45～85℃,附着力达到国军标要求。研究表明,利用类金刚石薄膜可以明显提高ZnS材料的耐冲击、耐高温、耐辐射和抗沙粒、盐、雾和尘埃的磨损侵蚀等能力。