利用脉冲激基分子激光制备大尺寸类金刚石薄膜及其均匀性分析附视频

被引：6

作者：

李铁军

刘晶儒

王丽戈

楼祺洪

机构：

[1] 西北核技术研究所!西安信箱分箱

[2] 不详

[3] 中国科学院上海光学精密机械研究所

[4] 上海—信箱

[5] 中国科学院上海光学精密机械研究所!上海—信箱

来源：

光子学报 | 1999年 / 12期

关键词：

类金刚石薄膜; 脉冲激光沉积; 均匀性;

D O I：

暂无

中图分类号：

O484.1 [薄膜的生长、结构和外延];

学科分类号：

摘要：

利用脉冲激光沉积结合计算机辅助衬底扫描技术制备了尺寸为７０ ×６６ｍｍ、均匀性为±５％的类金刚石薄膜，薄膜显微硬度最高为２７ＧＰａ，薄膜结合强度达到２００００转；在制备大尺寸薄膜的过程中，衬底扫描速度越慢，薄膜的均匀性越好；在应用传统清洗等方法的基础上，认为增大镀膜粒子的能量对于提高薄膜和衬底的结合强度是非常重要的－

引用

页码：1080 / 1085+1090 +1090

页数：7

共 4 条

[1] 激光清洗阈值和损伤阈值的研究 [J].