等离子体过程诊断与应用

被引：2

作者：

管潇津

机构：

[1] 保定师范专科学校物理系河北保定

来源：

保定师范专科学校学报 | 2004年 / 02期

关键词：

等离子体; 过程诊断; 电子温度; 电子密度;

D O I：

暂无

中图分类号：

O539 [等离子体物理的应用];

学科分类号：

070204 ;

摘要：

等离子体作为物质第四态,在宇宙中普遍存在.等离子体对表面材料、半导体材料的生成和制备提供了良好的环境,与之相关的等离子体状态诊断研究也显得非常重要.

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