可调波长半导体激光法布里-珀罗干涉仪

被引：15

作者：

马骥驰 ^{[1
]}

李岩 ^{[1
]}

孙文科 ^{[1
]}

许婕 ^{[2
]}

机构：

[1] 清华大学精密测试技术与仪器国家重点实验室

[2] 中国计量科学研究院

来源：

光学学报 | 2008年 / 07期

关键词：

纳米测量; 法布里-珀罗(F-P)干涉仪; 非线性误差校准; 可调谐半导体激光;

D O I：

暂无

中图分类号：

TN24 [激光技术、微波激射技术];

学科分类号：

摘要：

为了对激光干涉仪、高精度位移传感器等测量系统进行纳米级精度的非线性误差校准,需进一步提高中国计量科学研究院与清华大学合作研制的差拍F-P干涉仪的线性度、稳定性及测量范围。在合理分析空气折射率变化及He-Ne激光器纵模调谐范围等因素对测量的影响基础上,设计并制作了密封干涉光路的真空系统,并用调谐范围较大的半导体激光器作为工作激光器。实验结果表明,系统在大于1/4波长的行程范围内的线性度有明显的提高,最大非线性误差由8.93 nm减小至1.19 nm。

引用

页码：1296 / 1300

页数：5

共 8 条

[1] 基于适度光反馈自混合干涉技术的振动测量 [J].