大范围高分辨率法-珀干涉仪

被引：8

作者：

余载泉

徐毓娴

徐毅

许婕

机构：

[1] 清华大学精仪系!北京

[2] 中国计量科学研究院!北京

来源：

关键词：

法珀干涉仪; 纳米测量; 扩大测量范围;

D O I：

10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2000.03.003

中图分类号：

TH74 [光学仪器];

学科分类号：

0803 ;

摘要：

法珀干涉仪有较高的分辨率 ,但是由于受到激光器模间隔的限制 ,测量范围较小。介绍了使用换模锁定法对其进行扩展 ,实现了具有较大测量范围及纳米分辨率和测量精度的法珀干涉仪 ,扩展了法珀干涉仪的测量范围

引用

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页数：3

共 4 条

许婕，徐毅，李成阳 .

[2] 干涉光杠杆测量原理及应用 [J].

刘兵 ;

史广安 .

[3] 测量微位移的法-珀干涉仪 [J].

徐毅 ;

叶孝佑 ;

李成阳 ;

许婕 ;

高峰 .

[4] 高精度微位移差拍激光干涉仪 [J].

徐毅 ;

叶孝佑 ;

李成阳 ;

邹玲丁 ;

许婕 ;

高峰 .