提高溅射沉积MoS2膜耐磨性的途径及分析

被引：10

作者：

张晓玲

胡奈赛

何家文

机构：

[1] 西安交通大学金属材料强度国家重点实验室!西安７１００４９

来源：

关键词：

固体润滑; 溅射沉积; MoS2膜;

D O I：

暂无

中图分类号：

TB43 [薄膜技术];

学科分类号：

0805 ;

摘要：

分析了影响气相沉积ＭｏＳ２膜摩擦学性能的因素，讨论了通过复合膜技术和膜的后处理技术改善ＭｏＳ２膜性能的途径。

引用

页码：44 / 47

页数：4

共 5 条

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