基于原子力显微镜的悬臂梁微尖端器件应用新进展

被引：8

作者：

傅剑宇

陈大鹏

焦斌斌

欧毅

景玉鹏

董立军

叶甜春

机构：

[1] 中科院微电子研究所硅器件与集成技术研究室

来源：

电子工业专用设备 | 2007年 / 01期

关键词：

原子力显微镜; 悬臂梁; 微尖端;

D O I：

暂无

中图分类号：

TH742.9 [];

学科分类号：

摘要：

在分析原子力显微镜工作原理的基础上,详细介绍了各种基于原子力显微镜的悬臂梁微尖端器件的应用进展,并展望了悬臂梁微尖端器件的发展前景。

引用

页码：10 / 14

页数：5

共 5 条

[1]

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焦斌斌 ;

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