CO2连续激光弯曲硼硅酸盐玻璃薄片的实验研究

被引:5
作者
吴东江 [1 ]
牛方勇 [1 ]
刘双 [1 ]
马广义 [1 ]
祝勇 [2 ]
王续跃 [1 ]
机构
[1] 大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室
[2] 大连理工大学工程训练中心
基金
高等学校博士学科点专项科研基金;
关键词
激光弯曲; 硼硅酸盐玻璃; 热应力; 弯曲角;
D O I
暂无
中图分类号
TN249 [激光的应用];
学科分类号
摘要
利用CO2连续激光对硼硅酸盐玻璃薄片进行了弯曲实验,确定了用CO2连续激光弯曲厚度150μm的玻璃所需功率密度阈值。研究了激光功率、扫描速度、扫描次数及样品宽度对弯曲效果的影响,并简要分析了弯曲现象产生的原因。给出了弯曲加工时激光功率和扫描速度的范围,获得多组可以成功弯曲玻璃样品的工艺参数。实验结果表明,采用CO2连续激光可以对硼硅酸盐玻璃薄片进行弯曲加工,弯曲角度可达24°以上。
引用
收藏
页码:1416 / 1422
页数:7
相关论文
共 12 条
  • [1] 脉冲激光弯曲成形技术中硅片表面的形貌分析
    吴东江
    马广义
    曹先锁
    王续跃
    赵福令
    郭东明
    [J]. 中国激光, 2007, (11) : 1589 - 1593
  • [2] 长脉宽脉冲激光硅片弯曲成形试验
    吴东江
    马广义
    周秋菊
    许卫星
    许媛
    王续跃
    赵福令
    [J]. 光学精密工程, 2007, (09) : 1361 - 1365
  • [3] CO2激光作用下运动石英玻璃的温度分布
    焦俊科
    王新兵
    [J]. 强激光与粒子束, 2007, (01) : 1 - 4
  • [4] 厚硅片的高速激光切片研究
    崔建丰
    赵晶
    樊仲维
    赵存华
    张晶
    牛岗
    石朝晖
    裴博
    张国新
    薛岩
    毕勇
    亓岩
    [J]. 光学精密工程 , 2006, (05) : 829 - 834
  • [5] 板料激光成形及其研究进展
    刘韧
    季忠
    张鹏
    贾玉玺
    [J]. 锻压装备与制造技术, 2004, (03) : 17 - 21
  • [6] 钛合金板料激光曲线弯曲及热辐射对其组织性能的影响
    陈敦军
    向毅斌
    吴诗惇
    李淼泉
    [J]. 金属学报, 2001, (06) : 643 - 646
  • [7] 1.06μm连续激光照射下K9玻璃板的应力松驰破坏
    罗福
    孙承纬
    杜祥琬
    [J]. 强激光与粒子束, 2001, (01) : 19 - 23
  • [8] 板料激光弯曲的试验研究
    王秀凤
    王秀彦
    林道盛
    [J]. 锻压机械, 1999, (03) : 8 - 10
  • [9] Laser bending of etched silicon microstructures
    Gärtner, E
    Frühauf, J
    Löschner, U
    Exner, H
    [J]. MICROSYSTEM TECHNOLOGIES, 2001, 7 (01) : 23 - 26
  • [10] New aspects of the plastic deformation of silicon – prerequisites for the reshaping of silicon microelements.[J].J. Frühauf;E. G?rtner;E. J?nsch.Applied Physics A Materials Science & Processing.1999, 6