用于二维精密定位工作台的微位移机构设计

被引：5

作者：

郑静琳

李玉和

廖晓华

李庆祥

机构：

[1] 清华大学精密仪器及机械学系

来源：

关键词：

微位移; 柔性铰链; 有限元方法; 平行板;

D O I：

10.19650/j.cnki.cjsi.2006.s2.170

中图分类号：

TH703 [结构];

学科分类号：

0804 ; 080401 ; 081102 ;

摘要：

微位移技术是精密机械与仪器的关键技术之一。本文介绍精密定位系统中的典型微位移机构,分析常用机构的特点及存在问题,并以平行板柔性铰链为基础,通过对其结构的优化,设计应用于扫描探针系统的二维定位工作台,并利用有限元方法对该工作台静态特性进行了仿真分析。

引用

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