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微型高过载加速度传感器的加工与测试
被引:17
作者
:
石云波
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机构:
中北大学电子测试技术国家重点实验室
石云波
祁晓瑾
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中北大学电子测试技术国家重点实验室
祁晓瑾
刘俊
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中北大学电子测试技术国家重点实验室
刘俊
孟美玉
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机构:
中北大学电子测试技术国家重点实验室
孟美玉
机构
:
[1]
中北大学电子测试技术国家重点实验室
来源
:
机械工程学报
|
2008年
/ 09期
关键词
:
高过载;
加速度传感器;
测试;
D O I
:
暂无
中图分类号
:
TP212.1 [物理传感器];
学科分类号
:
摘要
:
针对特殊场合的测试要求,设计了四端全固支的高过载梁岛结构加速度传感器,结构中采用在质量块背部氢氧化钾腐蚀的方法,减小质量块的质量,及其与梁中性面的相对距离,使梁岛式结构与平膜式结构的优点得到有效结合,结构加工工艺简单可行。利用霍普金森冲击校准装置进行冲击加速度动态特性校准,试验结果分析表明,被测微加速度传感器的灵敏度为0.71μV/g,与理论值基本吻合。结构受到200 000g冲击后完好且输出信号正常,能有效地满足高冲击、强烈振动场合的特殊测试要求。
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页数:5
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