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极紫外光刻机工件台精密机械及控制相关技术.[D].朱涛.中国科学院研究生院（电工研究所）.2006, 09
二维高精度磁悬浮定位平台的研究
被引：10
作者：
景敏卿
刘恒
梁金星
虞烈
机构：
[1] 西安交通大学机械工程学院
来源：
关键词：
磁悬浮定位平台;
PID控制;
磁悬浮;
D O I：
暂无
中图分类号：
TH133.3 [轴承];
学科分类号：
080203 ;
摘要：
为了解决传统精密机械支承平台由于传动副的间隙、摩擦以及传动杆件弹性变形等引起的运动与定位误差问题,研制了具有"近零摩擦"运动副的高精度磁悬浮二维定位平台样机.该定位平台采用两层结构,最大行程500 mm,每层平台均采用结构相同的6对电磁铁,并以四角磁悬浮支承和侧向平动控制的方式置于导轨之上来实现平台的磁悬浮运动.通过设计磁悬浮平台的受力结构,获得了对平台垂直、水平方向的解耦控制方案.根据电磁轴承系统的数学模型分析,设计并开发了二维电磁悬浮平台和控制系统,使用dSPACE数字控制平台和模拟控制手段,实现了电磁悬浮平台在比例、积分和微分(PID)控制下的5自由度静态稳定悬浮.试验结果表明,悬浮精度达到了10μm,因而有希望成为新一代半导体制造中的高精度定位平台.
引用
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页码：1377 / 1381
页数：5
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