基于相位相关技术的MEMS旋转角度高分辨力测量

被引:8
作者
陈治
朱洪程
胡晓东
胡小唐
机构
[1] 天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室
关键词
MEMS谐振器; 旋转角度; Radon变换; 相位相关;
D O I
暂无
中图分类号
TP274.4 [];
学科分类号
摘要
为实现MEMS微结构周期运动过程中各个时刻的旋转角度及其动态特性参数的高分辨力测量,针对频闪成像技术获得的微结构运动图像序列,提出了一种基于相位相关技术与Radon变换技术相结合的旋转角度测量方法。该方法通过Radon变换将图像的空间坐标转换为极坐标的参数空间,使得空间坐标的旋转投影为参数坐标的平移运动,然后通过相位相关技术的亚像素运动估计算法,得到物体旋转角度的高分辨力测量结果。实验结果显示,用该方法测量旋转角度分辨力优于0.01°,表明该方法可以有效地减少由旋转产生的形变对测量结果的影响,提高测量结果的稳定性并减少测量误差。
引用
收藏
页码:1884 / 1889
页数:6
相关论文
共 6 条
  • [1] 基于Fourier-Mellin算法的干涉图像配准
    高莹莹
    杨建峰
    马晓龙
    陈浩锋
    [J]. 光学精密工程, 2007, (09) : 1415 - 1420
  • [2] 基于光流技术MEMS平面微运动特性的测量
    张少婧
    胡晓东
    栗大超
    胡小唐
    [J]. 纳米技术与精密工程, 2006, (03) : 240 - 244
  • [3] 基于相位相关的深空光通信扩展信标跟踪技术研究
    马晶
    徐科华
    谭立英
    [J]. 光学精密工程, 2006, (03) : 515 - 519
  • [4] 微结构特性的光学测试平台
    胡晓东
    栗大超
    郭彤
    金翠云
    胡春光
    胡小唐
    [J]. 光学学报, 2005, (06) : 803 - 808
  • [5] 基于块匹配技术的ME MS器件平面微运动特性的测量
    金翠云
    栗大超
    靳世久
    王立坤
    李一博
    [J]. 吉林大学学报(工学版), 2004, (03) : 445 - 448
  • [6] 显微精密成像与微型机械尺寸检测技术
    王向军
    王峰
    [J]. 光学精密工程, 2001, (06) : 511 - 513