高冲击环境下MEMS大量程加速度传感器结构的失效分析

被引：20

作者：

唐军 ^{[1
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赵锐 ^{[1
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石云波 ^{[1
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刘俊 ^{[1
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机构：

[1] 中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室

[2] 中北大学电子测试技术国家重点实验室

来源：

传感技术学报 | 2012年 / 25卷 / 04期

关键词：

MEMS; 大量程加速度传感器; 冲击测试; 高过载; 失效;

D O I：

暂无

中图分类号：

TP212 [发送器（变换器）、传感器];

学科分类号：

080202 ;

摘要：

对设计的大量程加速度传感器进行冲击测试,分析该种传感器结构在高冲击环境下的输出信号及可靠性。加速度传感器结构采用四端全固支结构,通过在梁的端部和根部设计倒角结构以分散应力。测试结果表明该传感器在232,119.4 gn下可以测试到有效输出信号。同时,对测试中失效传感器进行了分析,总结出大量程加速度传感器的在高冲击环境下的失效模式主要为键合引线的脱落、微梁的断裂和封装失效。

引用

页码：483 / 486

页数：4

共 8 条

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