LOW-TEMPERATURE FORMATION OF NISI2 FROM EVAPORATED SILICON

被引:51
作者
LIEN, CD [1 ]
NICOLET, MA [1 ]
LAU, SS [1 ]
机构
[1] UNIV CALIF SAN DIEGO,LA JOLLA,CA 92093
来源
PHYSICA STATUS SOLIDI A-APPLIED RESEARCH | 1984年 / 81卷 / 01期
关键词
D O I
10.1002/pssa.2210810111
中图分类号
T [工业技术];
学科分类号
08 ;
摘要
引用
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页码:123 / 128
页数:6
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