COMPOSITION AND DETECTION OF ALIGNMENT MARKS FOR ELECTRON-BEAM LITHOGRAPHY

被引：18

作者：

WOLF, ED ^{[1
]}

COANE, PJ ^{[1
]}

OZDEMIR, FS ^{[1
]}

机构：

[1] HUGHES RES LABS,MALIBU,CA 90265

来源：

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY | 1975年 / 12卷 / 06期

关键词：

D O I：

10.1116/1.568514

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

页码：1266 / 1270

页数：5

共 16 条

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