PLASMA NITRIDING AND ION PLATING WITH AN INTENSIFIED GLOW-DISCHARGE

被引：52

作者：

KORHONEN, AS

SIRVIO, EH

SULONEN, MS

机构：

来源：

THIN SOLID FILMS | 1983年 / 107卷 / 04期

关键词：

D O I：

10.1016/0040-6090(83)90301-2

中图分类号：

T [工业技术];

学科分类号：

08 ;

摘要：

引用

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页码：387 / 394

页数：8

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共 24 条

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