LASER ANNEALING OF THE SI-AU INTERFACE

被引：1

作者：

CROS, A

MARFAING, J

SALVAN, F

DERRIEN, J

KERHERVE, F

机构：

[1] UNIV HAUTE ALSACE,INST SCI EXACTES & APPL,F-68093 MULHOUSE,FRANCE

[2] ECOLE NORMALE SUPER,PHYS SOLIDES GRP,F-75221 PARIS,FRANCE

来源：

关键词：

D O I：

10.1016/0040-6090(83)90225-0

中图分类号：

T [工业技术];

学科分类号：

08 ;

摘要：

引用

页码：17 / 24

页数：8

共 13 条

STRITZKER, B ;

POSPIESZCZYK, A ;

TAGLE, JA .

STUCK, R ;

FOGARASSY, E ;

GROB, JJ ;

SIFFERT, P .

APPLIED PHYSICS, 1980, 23 (01) :15-19

WOOD, RF ;

GILES, GE .

PHYSICAL REVIEW B, 1981, 23 (06) :2923-2942