TRANSPARENT CARBON-FILM PREPARED BY MASS-SEPARATED NEGATIVE-CARBON-ION-BEAM DEPOSITION

被引:131
作者
ISHIKAWA, J
TAKEIRI, Y
OGAWA, K
TAKAGI, T
机构
关键词
D O I
10.1063/1.337925
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
摘要
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页码:2509 / 2515
页数:7
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共 30 条