REMARKS ON TRANSMISSION CHARACTERISTICS OF POSITIVE PHOTORESISTS

被引：2

作者：

ANDRASI, M ^{[1
]}

机构：

[1] HUNGARIAN ACAD SCI,TECH PHYS RES INST,H-1325 BUDAPEST,HUNGARY

来源：

关键词：

D O I：

10.1109/T-ED.1977.18703

中图分类号：

TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];

学科分类号：

0808 ; 0809 ;

摘要：

引用

页码：170 / 172

页数：3

共 5 条

BARTOLINI, RA .

[2] USE OF PHOTORESIST AS A HOLOGRAPHIC RECORDING MEDIUM [J].

BEESLEY, MJ ;

CASTLEDI.JG .

APPLIED OPTICS, 1970, 9 (12) :2720-&

[3] CHARACTERIZATION OF POSITIVE PHOTORESIST [J].

DILL, FH ;

HORNBERGER, WP ;

HAUGE, PS ;

SHAW, JM .

[4] OPTICAL LITHOGRAPHY [J].

DILL, FH .

[5]

NORMAN SL, 1975, APPLIED OPTICS, V14, P819