A 1-1 ELECTRON STEPPER

被引：24

作者：

WARD, R

FRANKLIN, AR

LEWIN, IH

GOULD, PA

PLUMMER, MJ

机构：

[1] Philips Research Lab, Redhill, Engl, Philips Research Lab, Redhill, Engl

来源：

JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY B | 1986年 / 4卷 / 01期

关键词：

D O I：

10.1116/1.583401

中图分类号：

TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];

学科分类号：

0808 ; 0809 ;

摘要：

引用

页码：89 / 93

页数：5

共 7 条

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