PRIMARY AR+ ION-BOMBARDMENT EFFECT ON NI-FE FILM COMPOSITION FORMED BY ION-BEAM SPUTTERING

被引:15
作者
NAGAI, Y
NISHIMURA, C
TOSHIMA, T
机构
来源
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY A | 1985年 / 3卷 / 06期
关键词
D O I
10.1116/1.573269
中图分类号
TB3 [工程材料学];
学科分类号
0805 ; 080502 ;
摘要
引用
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页码:2147 / 2151
页数:5
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