NONDESTRUCTIVE DEPTH PROFILING BY SPECTROSCOPIC ELLIPSOMETRY

被引:114
作者
VEDAM, K
MCMARR, PJ
NARAYAN, J
机构
[1] N CAROLINA STATE UNIV,DEPT MAT ENGN,RALEIGH,NC 27650
[2] MICROELECTR CTR N CAROLINA,RES TRIANGLE PK,NC 27709
关键词
D O I
10.1063/1.96156
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
摘要
引用
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页码:339 / 341
页数:3
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