QUANTITATIVE DISTRIBUTION ANALYSIS OF B, AS AND SB IN THE LAYER SYSTEM SIO2/SI WITH SIMS - ELIMINATION OF MATRIX AND CHARGING EFFECTS

被引：23

作者：

STINGEDER, G

机构：

来源：

FRESENIUS ZEITSCHRIFT FUR ANALYTISCHE CHEMIE | 1987年 / 327卷 / 02期

关键词：

D O I：

10.1007/BF00469821

中图分类号：

O65 [分析化学];

学科分类号：

070302 ; 081704 ;

摘要：

引用

页码：225 / 232

页数：8

共 24 条

WERNER, HW ;

MORGAN, AE .

[22]

WERNER HW, 1974, ADV MASS SPECTROM, V6, P673

WITTMAACK, K .

[24] PRIMARY-ION CHARGE COMPENSATION IN SIMS ANALYSIS OF INSULATORS [J].

WITTMAACK, K .