LOW-ENERGY (LESS-THAN-OR-EQUAL-TO-100 EV) SPUTTERING OF THIN MOLYBDENUM NITRIDE FILMS

被引:10
作者
BALDWIN, DA
SHAMIR, N
HOCHMANN, P
RABALAIS, JW
机构
关键词
D O I
10.1016/0039-6028(83)90367-9
中图分类号
O64 [物理化学(理论化学)、化学物理学];
学科分类号
070304 ; 081704 ;
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页码:361 / 372
页数:12
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