SOI CMOS CIRCUITS FABRICATED IN ZONE-MELTING-RECRYSTALLIZED SI FILMS ON SIO2-COATED SI SUBSTRATES

被引:14
作者
TSAUR, BY
FAN, JCC
CHAPMAN, RL
GEIS, MW
SILVERSMITH, DJ
MOUNTAIN, RW
机构
来源
ELECTRON DEVICE LETTERS | 1982年 / 3卷 / 12期
关键词
D O I
10.1109/EDL.1982.25613
中图分类号
TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];
学科分类号
0808 ; 0809 ;
摘要
引用
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页码:398 / 401
页数:4
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